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收入端延续高速增长态势，盈利水平进一步提升。我们选取15家半导体设备行业重点标的【北方华创】【中微公司】【拓荆科技】【华海清科】【长川科技】【芯源微】【至纯科技】【华峰测控】【盛美上海】【万业企业】【精测电子】【赛腾股份】【微导纳米】【晶升股份】【金海通】。1）收入端，2022&2023Q1十五家半导体设备企业合计实现营业收入分别为418.87亿元、99.77亿元，分别同比+49.98%、+46.67%，收入端延续高速增长势头。2）利润端， 2022&2023Q1十五家半导体设备企业合计归母净利润分别为77.76亿元、15.90亿元，分别同比+67.84%、+105.54%，显著高于营收端增速。2022&2023Q1十五家半导体设备企业销售净利率分别为18.83% 、15.97% ，分别同比+1.96pct 、+3.83pct ，盈利水平进一步提升。进一步分析：①毛利端，2022&2023Q1十五家半导体设备企业整体毛利率分别为45.75% 、44.41% ，分别同比+2.54pct、-1.45pct ；②费用端， 2022&2023Q1十五家半导体设备企业期间费用率分别为27.97% 、29.05% ，分别同比-2.84pct、-1.91pct，规模效应持续体现。3）订单方面，2022&2023Q1十五家半导体设备企业合同负债分别达到153.77亿元、169.96亿元，分别同比+55.21% 、+56.65 %，进一步验证在手订单充足，保障半导体设备行业业绩延续高速增长。

四重逻辑共振，继续看好半导体设备投资机会。1）继2022年10月美国对中国大陆半导体设备制裁升级后，2023年荷兰、日本相继加入限制阵营，海外制裁升级背景下，我们看好晶圆厂加速国产设备导入，2023年半导体设备国产化率提升有望超出市场预期。2）中芯国际2023年资本开支基本持平。此外存储扩产好于先前预期，晋华、粤芯等二三线晶圆厂合计资本开支有望持续提升，随着Q2国内晶圆厂招标陆续启动，国内半导体设备公司订单有望持续兑现。3） 2023年科技自主可控已经上升到举国体制，组建中央科技委，国家层面加大集成电路产业扶持力度，多省市将集成电路半导体芯片纳入当地政府报告，并从技术创新、项目建设、资金支持、标准制定等层面支持产业链发展，政策利好持续落地。4） OpenAI模型持续迭代，算力需求持续提升背景下，AI芯片市场规模持续扩张，2025年我国AI芯片市场规模将达到1780亿元，AI行业发展大趋势下，我们认为AI行情有望持续扩散，支撑各类芯片的底层—半导体设备持续成为AI行情扩散的下一个方向。

投资建议：1）前道设备：低国产化率环节重点推荐拓荆科技、精测电子、芯源微等；低估值标的重点推荐北方华创、赛腾股份、至纯科技、华海清科等；其他重点推荐中微公司、万业企业、盛美上海。2）后道设备：重点推荐长川科技、华峰测控。

风险提示：半导体行业投资不及预期、设备国产化进程不及预期等。

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